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國內(nèi)廠家銷售半導(dǎo)體行業(yè)用高純電子級(jí)磷酸三甲酯TMP

詳細(xì)說明

    電子級(jí)磷酸三甲酯TMPO

一、分子式:PO(OCH3)3

二、分子量:140.07

三、理化性質(zhì)

無色液體,有水果味,熔點(diǎn)-46℃,沸點(diǎn)197℃,密度1.215g/ml。易燃,易溶于水和乙醚,難溶于乙醇。

四、用途

主要用于晶圓制造過程中沉積生成磷硅酸玻璃(PSG)和硼磷硅酸玻璃(BPSG)。是半導(dǎo)體、分立器件、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)制造所需的重要電子化學(xué)品。

 
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