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德國菲希爾XDV-μ X 射線熒光鍍層測厚儀

詳細說明

    德國菲希爾XDV-μ型系列儀器是專為在極微小結(jié)構(gòu)上進行高精度鍍層厚度測量和材料分析而設(shè)計的。該系列儀器均配備用于聚焦X射線束的多毛細管透鏡,光斑直徑(FWHM)可達10至60μm。短時間內(nèi)就可形成高強度聚焦射線。除了通用型XDV-μ型儀器,還有專門為電子和半導體行業(yè)而設(shè)計的儀器。如XDV-μ LD是專為測量線路板而優(yōu)化的,而XDV-μ wafer是為在潔凈間使用而設(shè)計的。

 

特點:

● Advanced polycapillary X-ray optics that focus the X-rays onto extremely small measurement surfaces

● 先進的多毛細管透鏡,可將X射線聚集到極微小的測量面上

● 現(xiàn)代化的硅漂移探測器(SDD),確保極高的檢測靈敏度

● 可用于自動化測量的超大可編程樣品平臺

● 為特殊應(yīng)用而專門設(shè)計的儀器,包括:

oXDV-μ LD,擁有較長的測量距離(至少12mm)

oXDV-μLEAD FRAME,特別為測量引線框架鍍層如Au/Pd/Ni/CuFe等應(yīng)用而優(yōu)化

oXDV-μ wafer,配備全自動晶圓承片臺系統(tǒng)



應(yīng)用:

鍍層厚度測量

● 測量未布元器件和已布元器件的印制線路板

● 在納米范圍內(nèi)測量復雜鍍層系統(tǒng),如引線框架上Au/Pd/Ni/CuFe的鍍層厚度

● 對*大12英寸直徑的晶圓進行全自動的質(zhì)量監(jiān)控

● 在納米范圍內(nèi)測量金屬化層(凸塊下金屬化層,UBM)

● 遵循標準 DIN EN ISO 3497 和 ASTM B568

 

材料分析

● 分析諸如Na等極輕元素

● 分析銅柱上的無鉛化焊帽

● 分析半導體行業(yè)中C4或更小的焊料凸塊以及微小的接觸面

 
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