太陽能電池板制造參數(shù):
 
切片,清洗,制備絨面,周邊刻蝕,去除背面PN+結(jié),制作上下電極,制作減反射膜,燒結(jié),測(cè)試分檔等10步。
太陽能電池具體的制作工藝說明
(1)切片:采用多線切割,將硅棒切割成正方形的硅片。
(2)清洗:用常規(guī)的硅片清洗方法清洗,然后用酸(或堿)溶液將硅片表面切割損傷層除去30-50um。
(3)制備絨面:用堿溶液對(duì)硅片進(jìn)行各向異性腐蝕在硅片表面制備絨面。
(4)磷擴(kuò)散:采用涂布源(或液態(tài)源,或固態(tài)氮化磷片狀源)進(jìn)行擴(kuò)散,制成PN+結(jié),結(jié)深一般為0.3-0.5um。
(5)周邊刻蝕:擴(kuò)散時(shí)在硅片周邊表面形成的擴(kuò)散層,會(huì)使電池上下電極短路,用掩蔽濕法腐蝕或等離子干法腐蝕去除周邊擴(kuò)散層。
(6)去除背面PN+結(jié)。常用濕法腐蝕或磨片法除去背面PN+結(jié)。
(7)制作上下電極:用真空蒸鍍、化學(xué)鍍鎳或鋁漿印刷燒結(jié)等工藝。先制作下電極,然后制作上電極。鋁漿印刷是大量采用的工藝方法。
(8)制作減反射膜:為了減少入反射損失,要在硅片表面上覆蓋一層減反射膜。制作減反射膜的材料有MgF2,SiO2,Al2O3,SiO,Si3N4,TiO2,Ta2O5等。工藝方法可用真空鍍膜法、離子鍍膜法,濺射法、印刷法、PECVD法或噴涂法等。
(9)燒結(jié):將電池芯片燒結(jié)于鎳或銅的底板上。
(10)測(cè)試分檔:按規(guī)定參數(shù)規(guī)范,測(cè)試分類。生產(chǎn)電池片的工藝比較復(fù)雜,一般要經(jīng)過硅片檢測(cè)、表面制絨、擴(kuò)散制結(jié)、去磷硅玻璃、等離子刻蝕、鍍減反射膜、絲網(wǎng)印刷、快速燒結(jié)和檢測(cè)分裝等主要步驟。
太陽能電池板產(chǎn)品參數(shù)圖                                                                                                            
電池片
采用高效率(15%以上)的晶硅太陽能片封裝,保證太陽能電池板發(fā)電功率充足。
玻璃
采用低鐵鋼化絨面玻璃(又稱為白玻璃),厚度3.2mm,在太陽電池光譜響應(yīng)的波長范圍內(nèi)(320-1100nm)透光率達(dá)91%以上,對(duì)于大于1200 nm的紅外光有較高的反射率。此玻璃同時(shí)能耐太陽紫外光線的輻射,透光率不下降
采用加有抗 |