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X、Y軸壓電陶瓷掃描臺(tái)-上海納動(dòng)納米位移技術(shù)有限公司

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公　司：上海納動(dòng)納米位移技術(shù)有限公司

發(fā)布時(shí)間：2022年05月29日

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詳細(xì)說(shuō)明

產(chǎn)品描述
顯微鏡中的物鏡對(duì)準(zhǔn)通常需要一個(gè)開(kāi)放的方形中心孔徑，PK2L80-080U壓電掃描臺(tái)（帶有45x45mm的中心孔）是針對(duì)此類應(yīng)用而開(kāi)發(fā)的，每個(gè)軸都經(jīng)過(guò)機(jī)械預(yù)加載。獨(dú)特的產(chǎn)品設(shè)計(jì)非常緊湊，在XY運(yùn)動(dòng)軸上的運(yùn)動(dòng)可達(dá)80μm（閉環(huán)），并且由于柔性機(jī)械設(shè)計(jì)而實(shí)現(xiàn)了無(wú)間隙的平行運(yùn)動(dòng)。
可以選擇使用集成的SGS測(cè)量系統(tǒng)來(lái)克服遲滯的影響，并且PK2L80-080U定位系統(tǒng)可以配備電容測(cè)量系統(tǒng)，PK2L80-080U壓電掃描臺(tái)可以輕松地與其他機(jī)械定位系統(tǒng)結(jié)合使用。
PK2L80-080U系列非常適合從光學(xué)研究到OEM系統(tǒng)的各種應(yīng)用。
本系列產(chǎn)品種類包括X、Z、XZ、XY、XYZ軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)版本。請(qǐng)參照相關(guān)型號(hào)介紹。
產(chǎn)品特性
—XY位移：80μm（閉環(huán)）
—方形中孔尺寸：45x45mm
—*大承載能力：0.6Kg
—緊湊型設(shè)計(jì)
—高精度柔性導(dǎo)向
選配功能
—可定制轉(zhuǎn)接裝置及中心孔徑大小
—可選PZT&Sensor連接器及線纜長(zhǎng)度
—可選配閉環(huán)(SGS) 位置反饋系
—可選擇XYZ軸版本（80μm）
應(yīng)用領(lǐng)域
—納米壓印技術(shù)
—共聚焦顯微/掃描顯微
—掩模、晶圓定位
—表面測(cè)量技術(shù)
—圖像處理與穩(wěn)定

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