產品描述
PS3L40-080U系列是具有納米級定位分辨率的高速，多軸，精密納米定位系統。本系列產品提供*大的多功能性，可以配置XY或XYZ運動并擁有獨立的Z/X軸運動產品�？蛇x配內部位置傳感器進行閉環(huán)，可進行重復的位置測量。
XYZ 產品利用先進的平行運動原理，這意味著所有促動器直接作用在移動平臺上。與具有諸如單級疊堆串聯運動學的其他壓電系統不同，壓電疊堆線性平移臺形狀系數更小、慣性更低，因而可以實現更快的運動。
緊湊型設計，外形尺寸僅有40x40x36.5mm，具有體積小巧，高穩(wěn)定性，高精度使其非常適合需要低噪聲和高速性能的計量應用。適用于空間需求的多軸運動定位場合。參數可根據客戶要求定制。
PS3L40-080U壓電納米采用獨特的SGS式傳感器設計，具有閉環(huán)反饋選項，可實現亞納米級分辨率和高線性度。SGS傳感器直接測量位置反饋，從而實現出色的定位精度和可重復性。
產品特性
—XYZ軸納米定位
—運動范圍80μm/軸
—亞納米范圍內的高分辨率
—超緊湊的設計，具有卓越精度性能
選配功能
—可定制安裝孔、固定孔位及轉接裝置
—可選PZT&Sensor連接器及線纜長度
—可選配閉環(huán)(SGS) 位置反饋系
—可定制轉接裝置
應用領域
—原子力顯微鏡、掃描探針顯微鏡
—測量、計量
—光學探針、光學掃描、光束對準
—光纖對接、量子通信技術 |
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